Vakuumpumpensteuerungsvorrichtung, Vakuumpumpe und Verfahren zur Montage einer Vakuumpumpensteuerungsvorrichtung

EP3536964 Art B1 17. August 2022

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3536964
Aktenzeichen
EP17867165
Anmeldetag
31. Oktober 2017
Veröffentlichung
17. August 2022
Erteilung
17. August 2022
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04H05K7/14H05K7/20F04D27/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Japan Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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