Positive Resistzusammensetzung, für die Positive Resistzusammensetzung Verwendetes Harz, für die Synthese des Harzes Verwendete Verbindung und Musterformungsverfahren mit Verwendung Positiven Resistzusammensetzung

EP3537217 Art B1 31. August 2022

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3537217
Aktenzeichen: EP19170084
Anmeldetag: 7. Dezember 2006
Veröffentlichung: 31. August 2022
Erteilung: 31. August 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/004G03F7/039G03F7/20G03F7/075G03F7/30G03F7/32C07C69/653

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Organische Chemie

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