Partikelreduzierung Während der Sputterabscheidung

EP3538685 Art A1 18. September 2019

Anmelder: Corning Incorporated, Couillard, James, Gregory, Huang, Ming-Huang 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3538685
Aktenzeichen: EP17804382
Anmeldetag: 9. November 2017
Veröffentlichung: 18. September 2019
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/50C23C14/56C03B35/20C03C17/00H01L21/67H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Corning Incorporated
Couillard, James, Gregory
Huang, Ming-Huang
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Corning

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Corning, New York. Corning ist spezialisiert auf Spezialglas, Keramik und optische Fasern für Displays, Telekommunikation, Automobiltechnik, Life Sciences und Umwelttechnik.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von