Systeme und Verfahren zur Erzeugung einer Leitenden Flüssigkeit mit Entionisiertem Wasser mit Darin Gelöstem Ammoniakgas

EP3539149 Art B1 5. Januar 2022

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3539149
Aktenzeichen: EP17869604
Anmeldetag: 9. November 2017
Veröffentlichung: 5. Januar 2022
Erteilung: 5. Januar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G05D11/13H01L21/67H01L21/02B01F3/02B01F3/04B01F15/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

425 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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