Systeme und Verfahren zur Verlagerungsfilterung für Schichttransfer

EP3539152 Art A1 18. September 2019

Anmelder: Massachusetts Institute of Technology 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3539152
Aktenzeichen: EP17869789
Anmeldetag: 8. November 2017
Veröffentlichung: 18. September 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/20H01L21/683H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Massachusetts Institute of Technology
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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