Geometrische Steuerung von Aufwärtssäulen für Musterungsanwendungen

EP3539154 Art A1 18. September 2019

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3539154
Aktenzeichen: EP17869676
Anmeldetag: 7. November 2017
Veröffentlichung: 18. September 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/321H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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