Ventilvorrichtung, Verfahren zur Steuerung der Strömungsrate mit Dieser Ventilvorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiters

EP3540280 Art A1 18. September 2019

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3540280
Aktenzeichen: EP17869179
Anmeldetag: 2. November 2017
Veröffentlichung: 18. September 2019
Rechtsraum: EP
IPC: F16K31/02F16K31/122F16K7/16F16K31/00F16K7/17

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujikin Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik

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