Stufenantriebsvorrichtung, Lithografievorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Artikels

EP3540517 Art A1 18. September 2019

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3540517
Aktenzeichen: EP19161044
Anmeldetag: 6. März 2019
Veröffentlichung: 18. September 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H02K41/02H02K41/03H02K15/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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