Optisches Beleuchtungssystem, Belichtungsvorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren

EP3547032 Art B1 20. August 2025

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3547032
Aktenzeichen: EP19163682
Anmeldetag: 16. Juni 2011
Veröffentlichung: 20. August 2025
Erteilung: 20. August 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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