Verfahren zur Untersuchung einer Probe und Mehrstrahlige Vorrichtung mit Geladenen Teilchen
EP3549153
Art A1
9. Oktober 2019
Anmelder: Applied Materials Israel Ltd., Technische Universiteit Delft 🇮🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3549153
- Aktenzeichen
- EP17804193
- Anmeldetag
- 27. November 2017
- Veröffentlichung
- 9. Oktober 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/28H01J37/153
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials Israel Ltd.
Technische Universiteit Delft - Land
- 🇮🇱 Israel
🇳🇱
Technische Universiteit Delft
Niederländische Technische Universität in Delft mit breiter Forschung in Ingenieurwissenschaften und angewandter Technik.
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