Authentifizierung eines Rfid-Teils und Verfolgung von Verarbeitungskomponenten

EP3549156 Art B1 29. Dezember 2021

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3549156
Aktenzeichen: EP17875274
Anmeldetag: 15. November 2017
Veröffentlichung: 29. Dezember 2021
Erteilung: 29. Dezember 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/304H01L21/67// B24B1/00B24B37/20B24B37/30B24B37/005G05B19/042

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von