Inspektionsvorrichtung für Elektronische Vorrichtung

EP3550313 Art B1 26. Juli 2023

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3550313
Aktenzeichen: EP17876248
Anmeldetag: 29. September 2017
Veröffentlichung: 26. Juli 2023
Erteilung: 26. Juli 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G01R31/26H01L21/66H01L21/683G01R31/28H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von