Verfahren zur Herstellung von Metallsilizidschichten

EP3550593 Art B1 28. Mai 2025

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3550593
Aktenzeichen: EP19166775
Anmeldetag: 2. April 2019
Veröffentlichung: 28. Mai 2025
Erteilung: 28. Mai 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/285H01L21/3205H01L21/768H01L23/532C23C14/04C23C14/35C23C14/58

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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