Verfahren zur Abscheidung einer Polymerschicht für Sensoranwendungen mittels Chemischer Heissdrahtgasphasenabscheidung

EP3551780 Art A1 16. Oktober 2019

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3551780
Aktenzeichen: EP17878511
Anmeldetag: 7. Dezember 2017
Veröffentlichung: 16. Oktober 2019
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/452C23C16/448H01L21/02C23C16/44C23C16/455C23C16/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von