Verfahren zur Siliciderzeugung
EP3552228
Art A1
16. Oktober 2019
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3552228
- Aktenzeichen
- EP17881253
- Anmeldetag
- 5. Dezember 2017
- Veröffentlichung
- 16. Oktober 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/285H01L29/772H01L29/45H01L29/167// H01L29/165
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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