Optische Beleuchtungsanordnung, Belichtungsvorrichtung und Herstellungsverfahren einer Vorrichtung

EP3553604 Art B1 30. Juni 2021

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3553604
Aktenzeichen: EP19163401
Anmeldetag: 25. November 2011
Veröffentlichung: 30. Juni 2021
Erteilung: 30. Juni 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B5/30G02B26/08G02B27/09G02B27/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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