Laservorrichtung und Laserbearbeitungssystem

EP3553902 Art B1 6. August 2025

Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3553902
Aktenzeichen: EP16923248
Anmeldetag: 8. Dezember 2016
Veröffentlichung: 6. August 2025
Erteilung: 6. August 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/10H01S3/00H01S3/097H01S3/0971H01S3/13H01S3/16H01S3/225H01S3/23H01S5/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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