Metall/dielektrikum/metall-Hybridhartmaske zur Definition einer Topelektrode mit Ultragrosser Höhe für Mram-Vorrichtungen unter 60 Nm

EP3557637 Art B1 9. Februar 2022

Anmelder: Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. 🇹🇼

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3557637
Aktenzeichen
EP19158871
Anmeldetag
22. Februar 2019
Veröffentlichung
9. Februar 2022
Erteilung
9. Februar 2022
Rechtsraum
EP
IPC
H01L43/12H01L21/033
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd.
Land
🇹🇼 Taiwan
🇹🇼 Taiwan Semiconductor Manufacturing

Taiwan Semiconductor Manufacturing (TSMC) ist der weltweit größte reine Halbleiter-Auftragsfertiger mit Sitz in Hsinchu, Taiwan. Der weit überwiegende Teil des Patentportfolios betrifft Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt um Datenspeicherung und Nachrichtentechnik. Anmeldungen laufen durchgehend von 2000 bis 2022.

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