Lineare Quelle zur Gasphasenabscheidung mit mindestens Drei Elektrischen Heizelementen

EP3559306 Art B1 5. Oktober 2022

Anmelder: Flisom AG 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3559306
Aktenzeichen: EP17822189
Anmeldetag: 7. Dezember 2017
Veröffentlichung: 5. Oktober 2022
Erteilung: 5. Oktober 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/24C23C14/20C23C14/56C23C14/26C23C14/06H01L31/18H01L31/032H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Flisom AG
Land: 🇨🇭 Schweiz

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

Parrini, Lorenzo Basel, Schweiz

76

Patente gesamt

17

Fachgebiete

2

Anmelder-Länder

Schwerpunkte

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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Weitere Vertreter

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