Antistreuung-Resistzusammensetzung und Verfahren zur Durchführung von Lithographie

EP3561596 Art A1 30. Oktober 2019

Anmelder: The University Of Manchester 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3561596
Aktenzeichen: EP19162327
Anmeldetag: 30. Juli 2015
Veröffentlichung: 30. Oktober 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F7/004

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The University Of Manchester
Land: 🇬🇧 Großbritannien

🇬🇧 The University of Manchester

Die University of Manchester ist eine britische Universität mit breitem naturwissenschaftlichem und medizinischem Forschungsprofil. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Gesundheit sowie Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt um Pharma und organische Chemie. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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