Steuergerät für Adaptive Periodische Wellenform
EP3561852
Art B1
31. März 2021
Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3561852
- Aktenzeichen
- EP19165563
- Anmeldetag
- 2. Dezember 2015
- Veröffentlichung
- 31. März 2021
- Erteilung
- 31. März 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MKS Instruments, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
425 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Jaszek, Ryszard
London, Großbritannien
28
Patente gesamt
9
Fachgebiete
2
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