Polierzusammensetzung und Polierverfahren

EP3561858 Art B1 19. Oktober 2022

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3561858
Aktenzeichen: EP17889510
Anmeldetag: 22. Dezember 2017
Veröffentlichung: 19. Oktober 2022
Erteilung: 19. Oktober 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/304B24B37/00C09G1/02C09K3/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujimi Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

511 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von