Verfahren zur Entfernung von Iii-V-Materialien in Strukturen mit Hohem Aspektverhältnis
EP3561878
Art A1
30. Oktober 2019
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3561878
- Aktenzeichen
- EP19168988
- Anmeldetag
- 12. April 2019
- Veröffentlichung
- 30. Oktober 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L29/66H01L29/78// H01L21/3065
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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