Jodhaltige Verbindungen zum Ätzen von Halbleiterstrukturen
EP3563406
Art B1
24. April 2024
Anmelder: L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3563406
- Aktenzeichen
- EP17889218
- Anmeldetag
- 29. Dezember 2017
- Veröffentlichung
- 24. April 2024
- Erteilung
- 24. April 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311H01L21/3213H10B43/27
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Air Liquide
Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.
3.721 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Grout de Beaufort, François-Xavier
Paris, Frankreich
183
Patente gesamt
20
Fachgebiete
3
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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Air Liquide
Air Liquide · Paris