Polymer, Positive Resistzusammensetzung und Verfahren zur Bildung einer Resiststruktur

EP3564276 Art B1 19. April 2023

Anmelder: Zeon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3564276
Aktenzeichen
EP17888030
Anmeldetag
15. Dezember 2017
Veröffentlichung
19. April 2023
Erteilung
19. April 2023
Rechtsraum
EP
IPC
C08F220/22C08F212/06G03F7/039G03F7/20C08F2/46C09D133/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Zeon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Zeon

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Zeon Corporation entwickelt synthetische Kautschuke, Spezialchemikalien und Elastomere für Anwendungen in Automobil-, Elektronik- und Batterieindustrie.

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