Strahlungsempfindliche Zusammensetzung, Strukturformungsverfahren und Metallhaltiges Harz sowie Verfahren zur Herstellung davon

EP3564751 Art A1 6. November 2019

Anmelder: JSR Corporation, JICC-02 Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3564751
Aktenzeichen
EP17887183
Anmeldetag
27. November 2017
Veröffentlichung
6. November 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/038C08F12/14C08G79/12G03F7/004G03F7/20G03F7/32G03F7/039
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
JSR Corporation
JICC-02 Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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