Strahlungsempfindliche Zusammensetzung, Strukturbildungsverfahren und Metalloxid

EP3564752 Art A1 6. November 2019

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3564752
Aktenzeichen
EP17888261
Anmeldetag
11. Dezember 2017
Veröffentlichung
6. November 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/038G03F7/004G03F7/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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