Ionisations-Vakuummesszelle

EP3564983 Art A1 6. November 2019

Anmelder: Inficon AG 🇱🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3564983
Aktenzeichen: EP19182074
Anmeldetag: 23. September 2015
Veröffentlichung: 6. November 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01J41/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Inficon AG
Land: 🇱🇮 Liechtenstein

🇩🇪 Inficon

Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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