Verfahren und Vorrichtung zum Ätzen eines Substrats

EP3566244 Art A1 13. November 2019

Anmelder: Institut National de la Santé et de la Recherche Médicale (INSERM), Université d'Aix Marseille, Centre National de la Recherche Scientifique - CNRS 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3566244
Aktenzeichen: EP18700072
Anmeldetag: 5. Januar 2018
Veröffentlichung: 13. November 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Institut National de la Santé et de la Recherche Médicale (INSERM)
Université d'Aix Marseille
Centre National de la Recherche Scientifique - CNRS
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Institut National de la Santé et de la Recherche Médicale (INSERM)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris für biomedizinische und gesundheitswissenschaftliche Forschung. INSERM ist die zentrale öffentliche Einrichtung Frankreichs auf diesem Gebiet.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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