Boden- und Mittelrandringe
EP3566245
Art B1
17. März 2021
Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3566245
- Aktenzeichen
- EP17932862
- Anmeldetag
- 21. November 2017
- Veröffentlichung
- 17. März 2021
- Erteilung
- 17. März 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/687H01L21/683H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Fachgebiete
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
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3
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