Heterodyne Rasterkraftmikroskopievorrichtung, -Verfahren und Lithographiesystem

EP3568704 Art B1 2. März 2022

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3568704
Aktenzeichen: EP18702353
Anmeldetag: 15. Januar 2018
Veröffentlichung: 2. März 2022
Erteilung: 2. März 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G01Q60/32G01N29/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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