Verfahren und System zur Bestimmung eines Überlagerungs- oder Ausrichtungsfehlers zwischen einer Ersten und einer Zweiten Bauelementeschicht eines Mehrschichtigen Halbleiterbauelements

EP3568870 Art A1 20. November 2019

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3568870
Aktenzeichen: EP18700629
Anmeldetag: 11. Januar 2018
Veröffentlichung: 20. November 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/66G03F7/20G01Q60/32

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Abstract

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Anmelder

Firma: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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