Mehrstufige Turbomolekularpumpe mit Zwischenstufeneinlass

EP3571414 Art A1 27. November 2019

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3571414
Aktenzeichen
EP18700813
Anmeldetag
11. Januar 2018
Veröffentlichung
27. November 2019
Rechtsraum
EP
IPC
F04D29/32F04D29/52F04D19/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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