Vakuumpumpvorrichtung und Pumpenhauptkörper, Steuereinheit und Abstandshalter für die Vakuumpumpenvorrichtung

EP3572667 Art B1 13. März 2024

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3572667
Aktenzeichen
EP18741548
Anmeldetag
12. Januar 2018
Veröffentlichung
13. März 2024
Erteilung
13. März 2024
Rechtsraum
EP
IPC
F04B17/03F04B39/16F04B39/00F04D19/04F04B37/14F04D29/60F04D25/06F04B37/16
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Edwards Japan Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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