Oniumsalz, Chemisch Verstärkte Positive Resistzusammensetzung und Verfahren zur Herstellung von Resistmustern
EP3572877
Art B1
9. September 2020
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3572877
- Aktenzeichen
- EP19173981
- Anmeldetag
- 13. Mai 2019
- Veröffentlichung
- 9. September 2020
- Erteilung
- 9. September 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/004G03F7/039
Abstract
An onium salt of arenesulfonic acid having a bridged ring-containing group generates a bulky acid having an appropriate strength and controlled diffusion. When a positive resist composition comprising the onium salt and a base polymer is processed by lithography, a pattern of rectangular profile having high resolution and reduced LER is formed.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
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