System zur Nicht-Radialen Temperaturregelung für Rotierende Substrate

EP3573092 Art B1 22. Dezember 2021

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3573092
Aktenzeichen: EP19183675
Anmeldetag: 1. Mai 2009
Veröffentlichung: 22. Dezember 2021
Erteilung: 22. Dezember 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/324H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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