Substratverarbeitungsverfahren
EP3576133
Art B1
22. November 2023
Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd., Merck Patent GmbH 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3576133
- Aktenzeichen
- EP19176191
- Anmeldetag
- 23. Mai 2019
- Veröffentlichung
- 22. November 2023
- Erteilung
- 22. November 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- SCREEN Holdings Co., Ltd.
Merck Patent GmbH - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
SCREEN Holdings
Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.
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Boehmert & Boehmert
München, Deutschland
Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.
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