Substratverarbeitungsverfahren
Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd., Merck Patent GmbH 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3576134
- Aktenzeichen
- EP19176693
- Anmeldetag
- 27. Mai 2019
- Veröffentlichung
- 28. Juni 2023
- Erteilung
- 28. Juni 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- SCREEN Holdings Co., Ltd.
Merck Patent GmbH - Land
- 🇯🇵 Japan
Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.
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Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.
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Fachgebiete
Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.