Kaltkathodenionisationsmessgerät und Kassette für ein Kaltkathodenionisationsmessgerät

EP3578943 Art B1 6. September 2023

Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3578943
Aktenzeichen
EP17901077
Anmeldetag
13. März 2017
Veröffentlichung
6. September 2023
Erteilung
6. September 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G01L21/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Canon Anelva Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

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Kanzlei
Maucher Jenkins Freiburg im Breisgau, Deutschland

Maucher Jenkins ist eine anglo-deutsche IP-Kanzlei mit britischen Wurzeln bis 1937, entstanden 2016 durch Zusammenschluss mit dem Freiburger Haus. Präsent in Deutschland, Großbritannien, der Schweiz und China, als Brücke zwischen den Rechtsräumen.

9.290
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