Polierverfahren

EP3582252 Art B1 23. Februar 2022

Anmelder: Showa Denko Materials Co., Ltd., Hitachi Chemical Company, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3582252
Aktenzeichen: EP18751140
Anmeldetag: 23. Januar 2018
Veröffentlichung: 23. Februar 2022
Erteilung: 23. Februar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/321C09G1/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Showa Denko Materials Co., Ltd.
Hitachi Chemical Company, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi Chemical

Ehemaliges japanisches Chemieunternehmen, das Materialien für Halbleiter, Batterien und Verbundwerkstoffe herstellte. Ging nach mehreren Umfirmierungen im Konzern Resonac auf.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von