Anordnung eines Doppelventilfluidaktuators

EP3583322 Art A1 25. Dezember 2019

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3583322
Aktenzeichen: EP18754320
Anmeldetag: 12. Februar 2018
Veröffentlichung: 25. Dezember 2019
Rechtsraum: EP
IPC: F15B11/00F15B11/042F15B11/044

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik

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