Elektronenstrahllithografieverfahren für eine Probe mit mindestens einer Zerbrechlichen Nanostruktur
Anmelder: Centre National de la Recherche Scientifique, Sorbonne Université, Université de Paris, Université Paris Diderot - Paris 7 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3583468
- Aktenzeichen
- EP18707637
- Anmeldetag
- 12. Februar 2018
- Veröffentlichung
- 7. April 2021
- Erteilung
- 7. April 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20B82Y40/00G02B21/00G01N21/64G03F9/00H01J37/317H01J37/26
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Centre National de la Recherche Scientifique
Sorbonne Université
Université de Paris
Université Paris Diderot - Paris 7 - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.
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