Elektronenstrahllithografieverfahren für eine Probe mit mindestens einer Zerbrechlichen Nanostruktur

EP3583468 Art B1 7. April 2021

Anmelder: Centre National de la Recherche Scientifique, Sorbonne Université, Université de Paris, Université Paris Diderot - Paris 7 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3583468
Aktenzeichen: EP18707637
Anmeldetag: 12. Februar 2018
Veröffentlichung: 7. April 2021
Erteilung: 7. April 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20B82Y40/00G02B21/00G01N21/64G03F9/00H01J37/317H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Centre National de la Recherche Scientifique
Sorbonne Université
Université de Paris
Université Paris Diderot - Paris 7
Land: 🇫🇷 Frankreich

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