Adaptiertes Optisches Lithografieverfahren für eine Probe mit mindestens einem Zerbrechlichen Lichtemitter

EP3583469 Art B1 27. Januar 2021

Anmelder: Centre National de la Recherche Scientifique, Sorbonne Université, Université de Paris, Université Paris Diderot - Paris 7 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3583469
Aktenzeichen: EP18707638
Anmeldetag: 12. Februar 2018
Veröffentlichung: 27. Januar 2021
Erteilung: 27. Januar 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02F1/29G02B21/00G01N21/64G02B21/06G02B27/09H01L33/06B82Y20/00G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Firmen: Centre National de la Recherche Scientifique
Sorbonne Université
Université de Paris
Université Paris Diderot - Paris 7
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

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