Adaptiertes Optisches Lithografieverfahren für eine Probe mit mindestens einem Zerbrechlichen Lichtemitter
Anmelder: Centre National de la Recherche Scientifique, Sorbonne Université, Université de Paris, Université Paris Diderot - Paris 7 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3583469
- Aktenzeichen
- EP18707638
- Anmeldetag
- 12. Februar 2018
- Veröffentlichung
- 27. Januar 2021
- Erteilung
- 27. Januar 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02F1/29G02B21/00G01N21/64G02B21/06G02B27/09H01L33/06B82Y20/00G03F9/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Centre National de la Recherche Scientifique
Sorbonne Université
Université de Paris
Université Paris Diderot - Paris 7 - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.
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