Polierverfahren mit Verwendung einer Polierzusammensetzung

EP3584298 Art B1 28. Dezember 2022

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3584298
Aktenzeichen: EP18754174
Anmeldetag: 29. Januar 2018
Veröffentlichung: 28. Dezember 2022
Erteilung: 28. Dezember 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C09K3/14C09G1/02H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujimi Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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