Steuergerät und Vakuumpumpenvorrichtung

EP3584442 Art B1 1. November 2023

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3584442
Aktenzeichen
EP18754175
Anmeldetag
2. Februar 2018
Veröffentlichung
1. November 2023
Erteilung
1. November 2023
Rechtsraum
EP
IPC
F04B37/16F04B39/06F04D19/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Japan Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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