Pellikel, Verwendung des Pellikels in einer Belichtungsoriginalplatte, und Halbleiterbauelementherstellungsverfahren

EP3584636 Art A1 25. Dezember 2019

Anmelder: Mitsui Chemicals, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3584636
Aktenzeichen: EP18754194
Anmeldetag: 9. Februar 2018
Veröffentlichung: 25. Dezember 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/62G03F1/64G03F1/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsui Chemicals, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsui Chemicals

Mitsui Chemicals ist ein japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, der Basis- und Spezialchemikalien, Kunststoffe sowie Materialien für Elektronik und Mobilität herstellt. Das Unternehmen ging 1997 aus der Fusion mehrerer Mitsui-Chemieunternehmen hervor.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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