Messung einer Änderung bei einer Geometrischen Eigenschaft und / oder Position eines Werkstücks

EP3586189 Art B1 10. Januar 2024

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3586189
Aktenzeichen: EP18757317
Anmeldetag: 22. Februar 2018
Veröffentlichung: 10. Januar 2024
Erteilung: 10. Januar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G02B27/44G02B27/50G01B9/02G01B11/16G01B11/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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