Verfahren zum Polieren eines Siliciumcarbidsubstrats

EP3588536 Art A1 1. Januar 2020

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3588536
Aktenzeichen: EP18756763
Anmeldetag: 6. Februar 2018
Veröffentlichung: 1. Januar 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02B24B37/04C09G1/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Fujimi Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

511 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von