Halbleitersubstrat, Elektronische Vorrichtung, Verfahren zur Inspektion eines Halbleitersubstrats und Verfahren zur Herstellung einer Elektronischen Vorrichtung

EP3588539 Art A1 1. Januar 2020

Anmelder: Sumitomo Chemical Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3588539
Aktenzeichen: EP18757086
Anmeldetag: 26. Februar 2018
Veröffentlichung: 1. Januar 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L29/778G01R31/26H01L29/10H01L21/66// H01L29/20H01L29/78

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Chemical Company, Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Chemical

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Petrochemie, Agrochemie, Pharmazeutika, Elektronikmaterialien, Energiematerialien und Kunststoffen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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