Vorrichtungen zur Handhabung mindestens eines Substrats, Substratlagerung, Substratbehandlung und Substratverarbeitung

EP3588541 Art B1 10. August 2022

Anmelder: Murata Machinery, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3588541
Aktenzeichen: EP19180428
Anmeldetag: 17. Juni 2019
Veröffentlichung: 10. August 2022
Erteilung: 10. August 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/673

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Murata Machinery, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Murata Machinery

Japanischer Maschinenbauer (Marke Muratec) mit Schwerpunkt auf Textilmaschinen, Logistiksystemen und Werkzeugmaschinen, nicht zu verwechseln mit Murata Manufacturing.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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